1、液環真空機組的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如：真空鍍膜要求110-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要510-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數量級。
2、正確地(di)選擇(ze)液環真空機組(zu)的工(gong)(gong)作(zuo)點(dian)(dian)。每種泵都有一定的工(gong)(gong)作(zuo)壓強(qiang)范圍，如(ru)：擴散泵為(wei)(wei)10-3~10-7mmHg，在這樣(yang)寬壓強(qiang)范圍內(nei)(nei)，泵的抽速隨壓強(qiang)而變(bian)化，其穩定的工(gong)(gong)作(zuo)壓強(qiang)范圍為(wei)(wei)510-4~510-6mmHg。因而，泵的工(gong)(gong)作(zuo)點(dian)(dian)應該選(xuan)在這個范圍之內(nei)(nei)，而不能讓它在10-8mmHg下(xia)長期(qi)工(gong)(gong)作(zuo)。又如(ru)鈦升(sheng)華泵可以在 10-2mmHg下(xia)工(gong)(gong)作(zuo)，但其工(gong)(gong)作(zuo)壓強(qiang)應小(xiao)于110-5mmHg為(wei)(wei)好。
3、真空泵在其工作(zuo)壓強下，應能(neng)排走真空設備工藝過(guo)程中產(chan)生的全部(bu)氣體(ti)量。
4、正確地(di)組合(he)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)。由于(yu)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)有(you)選擇性抽(chou)(chou)氣，因而，有(you)時選用一種(zhong)泵(beng)(beng)(beng)不能(neng)滿足抽(chou)(chou)氣要(yao)求，需要(yao)幾種(zhong)泵(beng)(beng)(beng)組合(he)起來，互相補充(chong)才能(neng)滿足抽(chou)(chou)氣要(yao)求。如鈦升華泵(beng)(beng)(beng)對氫(qing)有(you)很高的(de)抽(chou)(chou)速(su)，但不能(neng)抽(chou)(chou)氦(hai)，而三極型濺射離子(zi)泵(beng)(beng)(beng)，(或二(er)極型非對稱陰極濺射離子(zi)泵(beng)(beng)(beng))對氬有(you)一定(ding)的(de)抽(chou)(chou)速(su)，兩者組合(he)起來，便會(hui)使(shi)(shi)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)裝置得到較(jiao)好的(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度(du)。另(ling)外(wai)，有(you)的(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)不能(neng)在(zai)大氣壓下工作，需要(yao)預真(zhen)(zhen)空(kong)(kong);有(you)的(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)出口(kou)壓強低(di) 于(yu)大氣壓，需要(yao)前級泵(beng)(beng)(beng)，故都需要(yao)把泵(beng)(beng)(beng)組合(he)起來使(shi)(shi)用。
5、真(zhen)空(kong)設備(bei)對油(you)(you)污染(ran)的要(yao)求。若設備(bei)嚴格要(yao)求無(wu)油(you)(you)時，應該選各(ge)種無(wu)油(you)(you)泵(beng)(beng)，如(ru)：水環泵(beng)(beng)、分(fen)子篩吸附(fu)泵(beng)(beng)、濺射離子泵(beng)(beng)、低溫泵(beng)(beng)等。如(ru)果要(yao)求不嚴格，可(ke)以選擇有油(you)(you)泵(beng)(beng)，加上一些防油(you)(you)污染(ran)措施，如(ru)加冷阱、障(zhang)板、擋(dang)油(you)(you)阱等，也能達到清潔真(zhen)空(kong)要(yao)求。
6、了解被抽(chou)氣(qi)(qi)體成分，氣(qi)(qi)體中含(han)(han)不(bu)含(han)(han)可凝蒸氣(qi)(qi)，有無(wu)顆粒灰(hui)塵(chen)，有無(wu)腐(fu)蝕性(xing)等(deng)。選(xuan)擇真(zhen)空泵時，需要知道氣(qi)(qi)體成分，針對被抽(chou)氣(qi)(qi)體選(xuan)擇相應的(de)(de)泵。如果氣(qi)(qi)體中含(han)(han)有蒸氣(qi)(qi)、顆粒、及(ji)腐(fu)蝕性(xing)氣(qi)(qi)體，應該考慮在(zai)泵的(de)(de)進氣(qi)(qi)口(kou)管路上安裝(zhuang)輔助(zhu)設備，如冷凝器、除塵(chen)器等(deng)。
7、真空泵排(pai)出來的(de)油(you)蒸氣對環(huan)境(jing)的(de)影響如何。如果環(huan)境(jing)不允許有污染，可以(yi)選無油(you)真空泵，或者把油(you)蒸氣排(pai)到室外。
8、真空泵工作時產生(sheng)的(de)(de)振(zhen)(zhen)動對工藝過(guo)程及環境有無影響。若工藝過(guo)程不允許，應選擇(ze)無振(zhen)(zhen)動的(de)(de)泵或者采取防振(zhen)(zhen)動措施。
9、真空泵(beng)的價(jia)格、運轉及維修費用。
